Публікація:
Моделювання параметрів МЕМС-датчиків тиску

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorГресько, С. Г.
dc.date.accessioned2020-03-20T19:48:18Z
dc.date.available2020-03-20T19:48:18Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractОб’єкт дослідження – процес функціонування МЕМС ємнісних датчиків тиску. Предмет дослідження – параметри МЕМС датчиків тиску. Мета роботи – дослідження впливу технологічних параметрів етапів пакування МЕМС датчиків тиску на їх функціональні характеристики. У ході виконання атестаційної роботи магістра проведено аналіз імітаційного принципу функціонування МЕМС датчиків тиску. Проаналізовано існуючі типи МЕМС датчиків тиску, їх конструкції та особливості. Розроблено функціональну модель МЕМС ємнісного датчика тиску, параметричну та математичні моделі датчиків тиску з прямокутною та квадратною мембраною, а також з круглою мембраною. У середовищі Comsol Multiphysics 5.3 розроблено імітаційну модель МЕМС датчика тиску за аналогією існуючої моделі SCB10H та проведено дослідження залежності вихідних значень параметрів зміщення мембрани та її ємності від впливу температури, за якої виконується зварювання елементів корпусу датчика. Результати магістерської атестаційної роботи апробовані у збірнику студентських наукових статей «Технологія приладобудування» [1].uk_UA
dc.identifier.citationГресько С. Г. Моделювання параметрів МЕМС-датчиків тиску : пояснювальна записка до атестаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 172 Телекомунікації та радіотехніка / С. Г. Гресько ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2019. – 68 с.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/11150
dc.language.isoukuk_UA
dc.subjectМЕМСuk_UA
dc.subjectдатчик тискуuk_UA
dc.subjectпараметрична модельuk_UA
dc.subjectфункціональна модельuk_UA
dc.subjectматематична модельuk_UA
dc.subjectімітаціна модельuk_UA
dc.subjectcomsol multiphysicsuk_UA
dc.subjectтермічне розширенняuk_UA
dc.titleМоделювання параметрів МЕМС-датчиків тискуuk_UA
dc.typeOtheruk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
2019_M_KITAM_Gresko_S_I.doc
Розмір:
5 MB
Формат:
Microsoft Word
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кваліфікаційні роботи магістрів (Маг_КІТАР)