Информационная технология мониторинга температурных полей в процессе выращивания монокристаллов

Abstract

Розроблено інформаційну технологію моніторингу температурного поля в процесі вирощування монокристалів напівпровідників, що включає комплекс математичних моделей і методів, систему взаємопов'язаних інформаційних процесів і комплекс технічних і програмних засобів. An information technology for monitoring the temperature field in the process of growing single crystals of semiconductors, including a complex of mathematical models and methods, a system of interrelated information processes and a set of technical and software tools was developed.