Перспективы применения микроэлектромеханических систем в космической технике

Публікація:
Перспективы применения микроэлектромеханических систем в космической технике

dc.contributor.author	Токарева, Е. В.
dc.contributor.author	Овчаренко, В. Е.
dc.contributor.author	Кононенко, Н. В.
dc.date.accessioned	2018-04-18T14:00:17Z
dc.date.available	2018-04-18T14:00:17Z
dc.date.issued	2015
dc.description.abstract	В статье рассмотрены перспективные направления развития микросистемной техники для различных сфер применения. У статті розглянуті перспективні напрями розвитку мікросистемної техніки для різних сфер застосування. The article describes. the promising areas of microsystems technology for various applications.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/4803
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.subject	микросистемная техника	uk_UA
dc.subject	сенсоры
dc.subject	актюаторы
dc.subject	нанотехнологии
dc.subject	миниатюризация
dc.subject	микроэлектромеханические системы
dc.title	Перспективы применения микроэлектромеханических систем в космической технике	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication