Публікація:
Порівняння технологій виготовлення мікросмужкових сенсорів: фотолітографія, лазерне протравлення, механічне фрезерування

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorЧикун, Р. С.
dc.date.accessioned2026-07-03T07:33:23Z
dc.date.issued2026
dc.description.abstractThe paper presents a comparative analysis of fabrication technologies for microstrip sensors, including photolithography, laser ablation, and CNC milling. The influence of geometric accuracy and edge roughness on electromagnetic characteristics such as impedance, resonance frequency, and quality factor in the GHz range is investigated. It is shown that fabrication tolerances significantly affect frequency stability and losses. Photolithography provides the highest precision, while laser processing ensures flexibility for rapid prototyping
dc.identifier.citationЧикун Р. С. Порівняння технологій виготовлення мікросмужкових сенсорів: фотолітографія, лазерне протравлення, механічне фрезерування // Радіоелектроніка та молодь у XXI столітті : матеріали 30-го Міжнар. молодіж. форуму, 22–24 квітня 2026 р. Харків, 2026. Т. 3. С. 468-470.
dc.identifier.urihttps://openarchive.nure.ua/handle/document/35251
dc.language.isouk
dc.publisherХНУРЕ
dc.subjectмікросмужкові сенсори
dc.subjectфотолітографія
dc.subjectлазерне протравлення
dc.subjectлазерна абляція
dc.titleПорівняння технологій виготовлення мікросмужкових сенсорів: фотолітографія, лазерне протравлення, механічне фрезерування
dc.typeConference proceedings
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
MRF_2026_T3_IRTM_468-470.pdf
Розмір:
225.08 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
10.74 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра мікроелектроніки, електронних приладів та пристроїв (МЕЕПП)