Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц

Abstract

Рассмотрено влияние собственного заряда низкопервеансного неосесимметричного электронного пучка на форму его поперечного сечения и распределение плотности тока. Такие пучки используются, например, в установках электронолитографии. Оценки на основе аналитической модели дополнены численным расчетом с использованием метода трубок тока. Представлены результаты моделирования динамики пучка с прямоугольным сечением в поле одиночной осесимметричной линзы.