Системи автоматизованого проектування мікросистем

Abstract

У посібнику викладено основні принципи проектування та моделювання мікроелектронних систем на базі мікро – та наноелектромеханіки, сучасні та перспективні напрями розвитку засобів автоматизації проектних процедур. Визначено методи та засоби аналізу мікросистем, базові варіанти реалізації проектів та приведений огляд комп’ютеризованих систем проектування. Розглянуто методи наскрізного проектування, що поєднують сучасні засоби створення віртуального образу мікромеханічних компонентів, – сенсорів та актюаторів, з засобами проектування електроніки на системному та схемному рівні з урахуванням наступних технологічних процесів, що супроводжують процеси виробництва інтегральних схем. Розглянуто особливості застосування засобів проектування мікросистем та наведені приклади реалізації пристроїв мікромеханіки в найпоширених автоматизованих системах. Рекомендовано як навчальний посібник для студентів усіх форм навчання спеціальностей 153 «Мікро – та наносистемна техніка», 171 «Електроніка».