Резонаторні та хвилеводні мікрохвильові сенсори в дослідженні властивостей напівпровідників

Оксенюк. А.; Бабиченко, С. В.

Публікація:
Резонаторні та хвилеводні мікрохвильові сенсори в дослідженні властивостей напівпровідників

dc.contributor.author	Оксенюк. А.
dc.contributor.author	Бабиченко, С. В.
dc.date.accessioned	2025-04-18T17:33:12Z
dc.date.available	2025-04-18T17:33:12Z
dc.date.issued	2025
dc.description.abstract	The study of electrophysical properties of semiconductor materials using microwave sensors is a promising direction due to its versatility and wide range of capabilities. The methodology allows working with various types of semiconductors, does not impose strict limitations on sample shapes, and provides the opportunity for non-electrode measurements, which enhances the accuracy of the analysis. This paper discusses resonator and waveguide microwave sensors for the diagnostics of semiconductor and dielectric materials. Approaches to improving measurement accuracy are proposed. The results obtained contribute to the advancement of diagnostic methods for the electrophysical properties of materials and expand their areas of application.
dc.identifier.citation	Оксенюк А. Резонаторні та хвилеводні мікрохвильові сенсори в дослідженні властивостей напівпровідників / А. Оксенюк, С. В. Бабиченко // Радіоелектроніка та молодь у XXI столітті : матеріали 29-го Міжнар. молодіж. форуму, 16–19 квітня 2025 р. – Харків : ХНУРЕ, 2025. – Т. 1. – С. 79–81.
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/30346
dc.language.iso	uk
dc.publisher	ХНУРЕ
dc.subject	мікрохвильовий сенсор
dc.subject	дослідження властивостей напівпровідників
dc.title	Резонаторні та хвилеводні мікрохвильові сенсори в дослідженні властивостей напівпровідників
dc.type	Thesis
dspace.entity.type	Publication