Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур

Гордиенко, Ю. Е.; Слипченко, Н. И.; Полетаев, Д. А.; Проказа, А. М.; Пятайкина, М. И.

Публікація:
Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Слипченко, Н. И.
dc.contributor.author	Полетаев, Д. А.
dc.contributor.author	Проказа, А. М.
dc.contributor.author	Пятайкина, М. И.
dc.date.accessioned	2016-07-13T11:00:58Z
dc.date.available	2016-07-13T11:00:58Z
dc.date.issued	2014
dc.description.abstract	В работе исследуются особенности нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предложен вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно- временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. The present paper concerns heating, annealing and redoping of semiconductor layered structures using a microwave radiator with a micron-sized aperture. We proposed a variant of such a modifier that is based on a conical coaxial waveguide. The study is focused on localization of heat and specific spatiotemporal distribution of temperature depending on the electrical and thermal parameters of the objects under study.	uk_UA
dc.identifier.citation	Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 763-764.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/1505
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Вебер	uk_UA
dc.subject	СВЧ модификаторы	uk_UA
dc.subject	полупроводниковых тонкопленочных структур	uk_UA
dc.subject	сканирующие зондовые технологии	uk_UA
dc.title	Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур	uk_UA
dc.type	Conference proceedings	uk_UA
dspace.entity.type	Publication