Теоретические аспекты реализации ближнеполевой микроволновой томографии

Гордиенко, Ю. Е.; Ларкин, С. Ю.; Мельник, С. И.; Слипченко, Н. И.

Публікація:
Теоретические аспекты реализации ближнеполевой микроволновой томографии

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Ларкин, С. Ю.
dc.contributor.author	Мельник, С. И.
dc.contributor.author	Слипченко, Н. И.
dc.date.accessioned	2020-08-20T17:46:41Z
dc.date.available	2020-08-20T17:46:41Z
dc.date.issued	2011
dc.description.abstract	При ближнеполевом микроволновом сканировании (БМС), в отличие от большинства других методов зондовой микроскопии, возможно зондирование подповерхностных слоев объекта. В связи с этим актуальной является задача разработки БМС томографии электрофизических свойств подповерхностных слоев объектов микро и наноэлектроники, биофизики и т.п. Проанализированы существующие подходы к ее решению и развит метод, основанный на разделении алгоритма реконструкции результатов сканирования на три независимых этапа и послойной реконструкции искомых распределений. Показано, что обратная задача БМС томографии может быть решена при использовании всей априорной информации об объекте контроля Представлены предварительные результаты моделирования процедуры контроля. The objects’ snbsuferface layers sounding is possible in the near field microwave scanning (MNS) as opposed to the majority of other methods of the probe microscopy. In this connection the problem of developing the MNS tomography of electrophysical properties of the microelectronics, and nanoelectronics, biophysics etc. objects’ subsurface layers becomes urgent.	uk_UA
dc.identifier.citation	Теоретические аспекты реализации ближнеполевой микроволновой томографии / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, С. И. Мельник, Н. И. Слипченко // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – 2011. – Вып. 167. – С. 120–128.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/12743
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЭ	uk_UA
dc.subject	ближнеполевое микроволновое сканирование	uk_UA
dc.subject	зондовая микроскопия	uk_UA
dc.title	Теоретические аспекты реализации ближнеполевой микроволновой томографии	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication