Теоретические аспекты реализации ближнеполевой микроволновой томографии

Abstract

При ближнеполевом микроволновом сканировании (БМС), в отличие от большинства других методов зондовой микроскопии, возможно зондирование подповерхностных слоев объекта. В связи с этим актуальной является задача разработки БМС томографии электрофизических свойств подповерхностных слоев объектов микро и наноэлектроники, биофизики и т.п. Проанализированы существующие подходы к ее решению и развит метод, основанный на разделении алгоритма реконструкции результатов сканирования на три независимых этапа и послойной реконструкции искомых распределений. Показано, что обратная задача БМС томографии может быть решена при использовании всей априорной информации об объекте контроля Представлены предварительные результаты моделирования процедуры контроля. The objects’ snbsuferface layers sounding is possible in the near field microwave scanning (MNS) as opposed to the majority of other methods of the probe microscopy. In this connection the problem of developing the MNS tomography of electrophysical properties of the microelectronics, and nanoelectronics, biophysics etc. objects’ subsurface layers becomes urgent.