Публікація: Мікросистемна техніка та нанотехнології
dc.contributor.author | Невлюдов, І. Ш. | |
dc.contributor.author | Палагін, В. А. | |
dc.date.accessioned | 2019-07-05T10:42:18Z | |
dc.date.available | 2019-07-05T10:42:18Z | |
dc.date.issued | 2016 | |
dc.description.abstract | Викладено принципи створення МЕМС на основі теорії подібностей, розмірностей фізичних величин, електромеханічних аналогій та конвергенції різних фізико-хімічних феноменів. Відомості про технології їх виробництва дозволяють на єдиній кремнієвій підкладці виготовити мікромеханічні вузли та деталі. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, що проявляються в мікронному та нанорозмірному діапазонах і забезпечують поліпшення електрофізичних та експлуатаційних характеристик виробів. Визначено можливості створення нових матеріалів із формуванням їхніх властивостей на атомно-молекулярному рівні, у тому числі інтелектуальних матеріалів; математичні моделі для проектування чутливих елементів датчиків, балок, мембран, зустрічно-штирьових резонансних систем та ін. Наведені відомості про конструктивні та технологічні рішення формування та самоскладання наноструктур, про інструментальні методи вивчення нанооб'єктів, технологічне обладнання, що використовується у виробництві. Для фахівців промисловості, пов'язаних з розробкою, виробництвом та експлуатацією нової техніки. Може бути корисним магістрантам, аспірантам, а також студентам вишів. | uk_UA |
dc.identifier.citation | Невлюдов І. Ш. Мікросистемна техніка та нанотехнології: монографія / І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін. – Київ : НАУ, 2017. – 528 c. | uk_UA |
dc.identifier.uri | http://openarchive.nure.ua/handle/document/9555 | |
dc.language.iso | uk | uk_UA |
dc.publisher | НАУ | uk_UA |
dc.subject | МЕМС | |
dc.subject | квантово-механічні ефекти | |
dc.subject | нанотехнології | |
dc.subject | мікросистемна техніка | |
dc.title | Мікросистемна техніка та нанотехнології | uk_UA |
dc.type | Book | uk_UA |
dspace.entity.type | Publication |
Файли
Оригінальний пакет
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- MST.pdf
- Розмір:
- 1.09 MB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
- монографія
Ліцензійний пакет
1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 9.42 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: