Публікація:
Застосування конвергенції для MEMS актюаторів

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorГніденко, О. Ю.
dc.contributor.authorБадаєв, О. С.
dc.date.accessioned2022-02-10T19:20:34Z
dc.date.available2022-02-10T19:20:34Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractМікроелектромеханічні актюатори складаються з пристроїв різноманітної фізичної природи, таких як авіа-, гідро-, акусто-, механічна, опто-, електричні і т.д. та його особливих якостей. Конвергенція такого пристрою у єдине ціле являється основним принципом технології мікросистем. Гнучкість має істотне значення у мікродоменах та є базою для систем з розподіленими та зосередженими гнучкими елементами.uk_UA
dc.identifier.citationГніденко О. Ю. Застосування конвергенції для MEMS актюаторів / О. Ю. Гніденко,О. С. Бадаєв // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2021) [Електронний ресурс]: зб. студ. наук. ст. / Харків. нац. ун-т радіоелектроніки ; [редкол.: І. Ш. Невлюдов та ін.]. – Х. : ХНУРЕ, 2021. – Вип. 2. – С. 147–150.uk_UA
dc.identifier.urihttps://openarchive.nure.ua/handle/document/19609
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherХНУРЕuk_UA
dc.subjectмікроелектромеханічні актюаториuk_UA
dc.subjectконвергенціяuk_UA
dc.subjectтехнологія мікросистемuk_UA
dc.subjectмікромініатюризаціяuk_UA
dc.titleЗастосування конвергенції для MEMS актюаторівuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
7706e958-7c7d-45dc-b6fa-0d65cbe9f98f-147-150.pdf
Розмір:
282.17 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра комп’ютерно-інтегрованих технологій, автоматизації та робототехніки (КІТАР)