Застосування конвергенції для MEMS актюаторів

Гніденко, О. Ю.; Бадаєв, О. С.

Публікація:
Застосування конвергенції для MEMS актюаторів

dc.contributor.author	Гніденко, О. Ю.
dc.contributor.author	Бадаєв, О. С.
dc.date.accessioned	2022-02-10T19:20:34Z
dc.date.available	2022-02-10T19:20:34Z
dc.date.issued	2021
dc.description.abstract	Мікроелектромеханічні актюатори складаються з пристроїв різноманітної фізичної природи, таких як авіа-, гідро-, акусто-, механічна, опто-, електричні і т.д. та його особливих якостей. Конвергенція такого пристрою у єдине ціле являється основним принципом технології мікросистем. Гнучкість має істотне значення у мікродоменах та є базою для систем з розподіленими та зосередженими гнучкими елементами.	uk_UA
dc.identifier.citation	Гніденко О. Ю. Застосування конвергенції для MEMS актюаторів / О. Ю. Гніденко,О. С. Бадаєв // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2021) [Електронний ресурс]: зб. студ. наук. ст. / Харків. нац. ун-т радіоелектроніки ; [редкол.: І. Ш. Невлюдов та ін.]. – Х. : ХНУРЕ, 2021. – Вип. 2. – С. 147–150.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/19609
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	мікроелектромеханічні актюатори	uk_UA
dc.subject	конвергенція	uk_UA
dc.subject	технологія мікросистем	uk_UA
dc.subject	мікромініатюризація	uk_UA
dc.title	Застосування конвергенції для MEMS актюаторів	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication