Перспективи використання НВЧ резонаторних сенсорів для діагностики багатошарових об’єктів

Щербань, І. М.; Грицунов, О. В.

Публікація:
Перспективи використання НВЧ резонаторних сенсорів для діагностики багатошарових об’єктів

dc.contributor.author	Щербань, І. М.
dc.contributor.author	Грицунов, О. В.
dc.date.accessioned	2025-04-19T07:19:33Z
dc.date.available	2025-04-19T07:19:33Z
dc.date.issued	2025
dc.description.abstract	This work discusses the prospects for using microwave local sensors to determine the doping profile of semiconductor objects in the scanning microwave microscopy (SMM). Quantitative results for the electric field distribution in a three-layer structure of an object with different degrees of doping are presented. The influence of the electro physical parameters of objects on the field distribution in the probe-object system has been studied. Options for implementing 3D micro scanning of multilayer objects are proposed. It has been shown that SMM makes it possible to determine the profile of the electrical parameters of the objects by depth with locality over a wide range.
dc.identifier.citation	Щербань І. М. Перспективи використання НВЧ резонаторних сенсорів для діагностики багатошарових об’єктів / І. М. Щербань, О. В. Грицунов // Радіоелектроніка та молодь у XXI столітті : матеріали 29-го Міжнар. молодіж. форуму, 16–19 квітня 2025 р. – Харків : ХНУРЕ, 2025. – Т. 1. – С. 59–60.
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/30384
dc.language.iso	uk
dc.publisher	ХНУРЕ
dc.subject	НВЧ резонаторний сенсор
dc.subject	діагностика багатошарових об’єктів
dc.title	Перспективи використання НВЧ резонаторних сенсорів для діагностики багатошарових об’єктів
dc.type	Thesis
dspace.entity.type	Publication