Гібридні сигнали в локальній НВЧ діагностиці малорозмірних об'єктів на основі резонаторних зондів з коаксіальною апертурою

Abstract

Об’єкт дослідження — взаємодія електромагнітного поля зондових малорозмірних НВЧ вимірювачів з діелектричними та напівпровідниковими об'єктами. Мета роботи — аналіз впливу заважаючих факторів в локальній НВЧ діагностиці та формування сигналів, здатних значно зменшити їх внесок. Методи дослідження — дедуктивно-аналітичний аналіз процесів дослідження гібридних сигналів та їх моделювання. У роботі представлений огляд різних конструкцій зондів, використання АПЧ та отримання первинних сигналів в СММ. В результаті виконання роботи були побудовані гібридні сигнали на основі фундаментальних.