Проведено огляд технологій одержаний плівок аморфного кремнію та параметрів плівок, що вони забезпечують, проведено розрахунок оптимальної відстані мішень-підкладка для рівномірного нанесення плівок на підкладку. Отримані зразки плівок аморфного кремнію та проведення вимірювання оптичної прозорості зразків у спектральному діапазоні 400-900 нм. Розроблено конструкція вимірювальної оснастки для контролю фотоелектричних властивостей плівок. Проведено вимірювання темнового та світлового опору зразків плівок.