Публікація: Прогнозирование концентрации углерода в слитках при выращивании монокристаллов кремния для солнечной энергетики
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЭ
Анотація
Делается статистический анализ данных о тенденциях изменения концентрации углерода в слитках кремния для солнечной энергетики на протяжении длительного периода работы ростовых установок. Полученные данные используются для синтеза прогнозной модели, позволяющей предотвращать запуск технологического процесса выращивания при переходе графитового нагревателя в состояние повышенного испарения углерода в атмосферу ростовой установки.
Опис
Цитування
Оксанич, А. П. Прогнозирование концентрации углерода в слитках при выращивании монокристаллов кремния для солнечной энергетики / А. П. Оксанич, С. А Волохов, И. В. Шевченко // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2009. – Вып. 3. – С. 20-24.