Развитие техники безэлектродного СВЧ-контроля удельного сопротивления полупроводников

Гордиенко, Ю. Е.; Гуд, Ю. И.; Сухоруков, И. В.

Публікація:
Развитие техники безэлектродного СВЧ-контроля удельного сопротивления полупроводников

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Гуд, Ю. И.
dc.contributor.author	Сухоруков, И. В.
dc.date.accessioned	2021-11-20T17:59:04Z
dc.date.available	2021-11-20T17:59:04Z
dc.date.issued	1997
dc.description.abstract	Рассмотрены вопросы, связанные с повышением точности измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин безэлектродным СВЧ- резонаторным методом за счет снижения влияния мешающих факторов. Предложен метод формирования сигнала измерительной информации, инвариантного по отношению к мешающим факторам, в виде комбинации основных сигналов резонаторного измерительного преобразователя. Приведена структурная схема СВЧ-измерителя удельного сопротивления полупроводниковых пластин, реализующего предложенную методику	uk_UA
dc.identifier.citation	Гордиенко Ю. Е. Развитие техники безэлектродного СВЧ-контроля удельного сопротивления полупроводников / Ю. Е. Гордиенко, Ю. И. Гуд, И. В. Сухоруков // Радиотехника : всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 1997. – Вып. 104. – С. 56–61.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/18282
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХТУРЭ	uk_UA
dc.subject	радиотехника	uk_UA
dc.subject	резонаторный метод	uk_UA
dc.title	Развитие техники безэлектродного СВЧ-контроля удельного сопротивления полупроводников	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication