Разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур с уменьшенной величиной концентрационной переходной области

Оксанич, А. П.; Седин, Е. А.

Публікація:
Разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур с уменьшенной величиной концентрационной переходной области

dc.contributor.author	Оксанич, А. П.
dc.contributor.author	Седин, Е. А.
dc.date.accessioned	2016-06-15T06:46:50Z
dc.date.available	2016-06-15T06:46:50Z
dc.date.issued	2012
dc.description.abstract	Разработан метод и установка получения кремниевых эпитаксиальных слоёв на сильно легированных подложках с резким концентрационным переходом вблизи границы слой-подложка. Показано, что при проведении пиролиза в аргоне при пониженном давлении разброс по толщине и концентрации легирующей примеси в слоях уменьшается приблизительно в два раза и составляет менее 10%. A method and a unit for obtaining silicon epitaxial layers on heavily doped substrates with a sharp concentration transition near the boundary layer-substrate interface are developed. It is shown that at the realization of pyrolysis in argon at reduced pressure a variaty in thickness and dopant concentration in the layers is reduced by approximately half and is less than 10%.	uk_UA
dc.identifier.citation	Оксанич, А. П. Разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур с уменьшенной величиной концентрационной переходной области / А. П. Оксанич, Е. А. Седин // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2012. – Т. 11, № 1. – С. 100–103.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/903
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЭ	uk_UA
dc.subject	пиролиз	uk_UA
dc.subject	концентрация примеси	uk_UA
dc.subject	диффузия	uk_UA
dc.subject	силан	uk_UA
dc.subject	пониженное давление	uk_UA
dc.subject	pyrolysis	uk_UA
dc.subject	impurity concentration	uk_UA
dc.subject	diffusion	uk_UA
dc.subject	silane	uk_UA
dc.subject	reduced pressure	uk_UA
dc.title	Разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур с уменьшенной величиной концентрационной переходной области	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication