Влияние зазора между зондом и объектом на высоколокальный сканирующий СВЧ нагрев материалов

Abstract

В работе исследуются особенности влияния воздушного зазора при локальном СВЧ разогреве полупроводниковых и диэлектрических материалов. Исследования осуществляются теоретически по результатам численного совместного решения уравнений Максвелла и теплопроводности для системы, содержащей локальный СВЧ зонд, взаимодействующий с объектом через воздушный зазор. Излучение зонда имеет ближнеполевой характер, специфичный для сканирующей микроволновой микроскопии. Показано, что кинетика и локальность установления температуры в объекте существенно зависят от величины зазора в диапазоне его значений, сравнимых с сечением острия зонда. При сферической форме острия зазор более существенно ослабляет нагрев, практически не влияя на его делокализацию.