Конструкції і технології створення МЕМС ВЧ комутаторів

Abstract

Мета роботи – дослідження розвитку конструктивних и технологічних рішень щодо створення ВЧ MEMS перемикачів в галузі мікро- і наноелектроніки, та методів випробування їх технічних параметрів Об’єкт дослідження – конструкції, технології створення і методика тестування ВЧ MEMS перемикачів Метод дослідження – аналіз літературних джерел та інтернет ресурсів. Актуальність роботи пов’язана з активним впровадженням ВЧ MEMS перемикачів у приладобудуванні вимірювального і аналітичного обладнання, в новітніх мікроелектронних приладах обробки сигналів НВЧ діапазону, сучасних системах радіолокації. В представленої роботі зроблено огляд основних конструктивних рішень щодо удосконалення характеристик ВЧ MEMS комутаторів при застосуванні досягнень сучасної технології і використанні нових матеріалів. Особлива увага приділена можливості зниження керуючої комутацією рівня напруги. В роботі наведені також основні параметри що характеризують якість комутації в кожному з конструктивних рішень та фактори, що призводять до їх погіршення; представлена також методика їх вимірювання. Результати роботи можуть бути використані у навчальному процесі.