О синтезе СВЧ резонаторных измерительных преобразователей для фотомодуляционной диагностики полупроводниковых структур

Гордиенко, Ю. Е.; Бородин, Б. Г.; Криворучко, В. И.

Публікація:
О синтезе СВЧ резонаторных измерительных преобразователей для фотомодуляционной диагностики полупроводниковых структур

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Бородин, Б. Г.
dc.contributor.author	Криворучко, В. И.
dc.date.accessioned	2022-03-21T09:49:59Z
dc.date.available	2022-03-21T09:49:59Z
dc.date.issued	1993
dc.description.abstract	Заметным достижением в .развитии микроволновой диагностики полупроводниковых материалов явилось создание СВЧ фотомодуляционного метода контроля параметров эпитаксиальных структур. В числе несомненных достоинств этого метода, таких как безэлектродность измерений и их неразрушающий характер, безусловно, следует назвать также его универсальность (то есть применимость для определения большинства электрофизических параметров полупроводниковой слоистой структуры и легко реализуемую возможность высоколокальных измерений.	uk_UA
dc.identifier.citation	Гордиенко Ю. Е. О синтезе СВЧ резонаторных измерительных преобразователей для фотомодуляционной диагностики полупроводниковых структур / Ю. Е. Гордиенко, Б. Г. Бородин, В. И. Криворучко // Радиотехника : респ. межведомств. науч.-техн. сб. – 1993. – Вып. 98. – С. 72–79.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/19895
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Основа	uk_UA
dc.subject	радиотехника	uk_UA
dc.subject	микроволновая диагностика	uk_UA
dc.subject	метод контроля параметров	uk_UA
dc.title	О синтезе СВЧ резонаторных измерительных преобразователей для фотомодуляционной диагностики полупроводниковых структур	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication