Измерение параметров невзаимных элементов для интегральных схем миллиметрового диапазона

Abstract

Освоение миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов волн, развитие элементной базы на основе диэлектрических и металлодиэлектрических волноводных структур в последние годы делают возможным переход от разработки отдельных устройств волноводного тракта к созданию законченных узлов и систем в интегральном исполнении на этих волноводах. Одна из перспективных линий для интегральных схем миллиметрового диапазона волн — полосковый металлодиэлектрический волновод (ПМДВ), обладающий поляризационной устойчивостью, хорошими электродинамическими параметрами и сравнительной простотой изготовления. В настоящее время актуальны задачи разработки невзаимных элементов (НЭ) на базе этого волновода — ферритовых циркуляторов и вентилей, а также измерения их параметров на этапе лабораторных исследований и в процессе промышленного изготовления