Многопараметрический модуляционный СВЧ-датчик с емкостной измерительной апертурой

Abstract

Представлен наиболее доступный подход получения дополнительной информации, как реакции датчика на изменение положения образца. Дополнительная информация позволяет исключить наиболее существенные погрешности и определить недоступные ранее характеристики. В качестве примера рассматривается возможность измерения характеристик двухслойной диэлектрической структуры коаксиальным емкостным датчиком