Публікація:
Локальная СВЧ модификация материалов и структур микро- и наноэлектроники

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorГордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.authorМельник, С. И.
dc.contributor.authorСлипченко, Н. И.
dc.date.accessioned2016-08-02T09:31:06Z
dc.date.available2016-08-02T09:31:06Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractA preliminary analysis of the possibilities of thermal effects on semiconductors and semiconductor films local microwave field shows that the existing models and experimental results provide enough information about the possibilities of modifying the properties of semiconductors as a result of heating, but do not take into account the specific locality of microwave heating in the micro and nano-meter scale. The approximate analytical model of heat, allowing to obtain estimates of the results and to optimize the design of probes. Based on the finite element method developed a numerical model that allows to explore different probe design, facilities and heating conditions in a wide range. The possibility of its work are illustrated by blow-up regime, which allows localized heating zone in the region, significantly less than the initial half-width of the distribution of the microwave field.uk_UA
dc.identifier.citationГордиенко, Ю. Е. Локальная СВЧ модификация материалов и структур микро- и наноэлектроники / Ю. Е. Гордиенко, С. И. Мельник, Н. И. Слипченко // Функциональная база наноэлектроники : сб. науч. тр. V Междунар. науч. конф., 30 сент. – 5 окт. 2012 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2012. – С. 205–208.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/1720
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectнаноэлектроникаuk_UA
dc.subjectСВЧ-полеuk_UA
dc.subjectзондuk_UA
dc.titleЛокальная СВЧ модификация материалов и структур микро- и наноэлектроникиuk_UA
dc.typeConference proceedingsuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
1616.doc
Розмір:
166.5 KB
Формат:
Microsoft Word
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Международная научная конференция "Функциональная база наноэлектроники" Харьков-Кацивели 2011-2012