Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков

Гордиенко, Ю. Е.; Полетаев, Д. А.; Проказа, А. М.; Слипченко, Н. И.

Публікація:
Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Полетаев, Д. А.
dc.contributor.author	Проказа, А. М.
dc.contributor.author	Слипченко, Н. И.
dc.date.accessioned	2018-04-11T14:09:40Z
dc.date.available	2018-04-11T14:09:40Z
dc.date.issued	2013
dc.description.abstract	Предложены принципы осуществления высоколокального СВЧ нагрева полупроводниковых материалов с целью их сканирующего перелегирования, оксидирования, отжига и других термических модификаций, которые используются в микро- и нанотехнологиях. Показана возможность создания СВЧ ближнеполевого аппликатора на основе конусного коаксиального зонда. Проведены численные исследования пространственно-временного распределения температуры в области воздействия такого аппликатора в зависимости от электрофизических параметров полупроводникового материала и конструктива зонда.	uk_UA
dc.identifier.citation	Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, Д. А. Полетаев, А. М. Проказа, Н. И. Слипченко // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2013. – Т. 12, № 3 – С. 452–458.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/4739
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЭ	uk_UA
dc.subject	СВЧ модификация	uk_UA
dc.subject	тепловыделение	uk_UA
dc.subject	конусный коаксиальный СВЧ зонд	uk_UA
dc.title	Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication