Публікація:
Влияние изменения линейных размеров на электрические параметры компонентов микроэлектромеханических систем

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorНевлюдов, И. Ш.
dc.contributor.authorПалагин, В. А.
dc.contributor.authorБогдан, Ю. И.
dc.date.accessioned2016-07-13T09:57:21Z
dc.date.available2016-07-13T09:57:21Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractТеории подобия и размерностей физических величин (ТП и РФВ) содержат основные принципы для оценки изменения свойств МЭМС при уменьшении линейных размеров. Различные активные силы меняются по разным законам, эти силы перечислены. ТП и РФА могут использоваться для анализа и оценки изменения характеристик МЭМС. В докладе показаны некоторые основные тенденции микроминиатюризации. Similitude and dimension physical quantities theories (TS and DPQ) are basic principles for estimation of changing properties of MEMS with decreasing a linear scale. Different active forces changes with distinguish laws and these forces are enumerated. TS and DPQ can be used for analysis and estimation changing characteristics of MEMS. In the report some principle tendencies of miniaturization are shown.uk_UA
dc.identifier.citationНевлюдов, И. Ш. Влияние изменения линейных размеров на электрические параметры компонентов микроэлектромеханических систем / И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, Ю. И. Богдан // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 748-749.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/1497
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherВеберuk_UA
dc.subjectмикроэлектромеханические системыuk_UA
dc.subjectмикросистемная техникаuk_UA
dc.titleВлияние изменения линейных размеров на электрические параметры компонентов микроэлектромеханических системuk_UA
dc.typeConference proceedingsuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
0746_0747.pdf
Розмір:
265.68 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Международная Крымская конференция " СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" ( КрыМиКо)