Застосування технології ALD для покращення емісійних властивостей елементів мікроканальних пластин

Abstract

Мета роботи – дослідження розвитку технологічних рішень щодо створення пристроїв на основі мікроканальних пластин (МКП) для, на яких базуються пристрої для детектування слабких сигналів випромінювання, або часток (електронів, іонів). Об’єкт дослідження – сучасні технології створення МКП Метод дослідження – аналіз літературних джерел та інтернет ресурсів. Актуальність роботи пов’язана з активним застосуванням приладів на основі МКП у науковому приладобудуванні для дослідження космосу потоків випромінювання слабкої інтенсивності, у військовій справі у приладах нічного бачення. (ПНБ). Необхідність покращення характеристик МКП є важливим технологічним завданням. В представленої роботі зроблено огляд технологій виготовлення самих МКП, принципів їх конструювання. Основною технологічною проблемою забезпечення високої однорідності функціональних шарів каналів МКП є їх значне аспектне відношення. В роботі розглянута технологія ALD, застосування якої дає можливість подолати цю проблему Результати роботи можуть бути використані у навчальному процесі.