Publication: Экспериментальная проверка теоретических основ, положенных в основу технологии автоматизированного контроля шероховатости поверхности подложки
dc.contributor.author | Невлюдов, И. Ш. | |
dc.contributor.author | Новоселов, С. П. | |
dc.contributor.author | Резниченко, А. Г. | |
dc.date.accessioned | 2021-04-07T14:55:50Z | |
dc.date.available | 2021-04-07T14:55:50Z | |
dc.date.issued | 2011 | |
dc.description.abstract | В статье рассматриваются результаты экспериментальной проверки предложенного метода распознавания и восстановления интерференционного сигнала отраженного от функциональной поверхности подложки, выполненной моделированием на ПЭВМ. | uk_UA |
dc.identifier.citation | Невлюдов И. Ш. Экспериментальная проверка теоретических основ, положенных в основу технологии автоматизированного контроля шероховатости поверхности подложки / И. Ш. Невлюдов, С. П. Новоселов, А. Г. Резниченко // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 2011. – Вып. 164. – С. 155–162. | uk_UA |
dc.identifier.uri | https://openarchive.nure.ua/handle/document/15368 | |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.publisher | ХНУРЭ | uk_UA |
dc.subject | радиотехника | uk_UA |
dc.subject | интерференционный сигнал | uk_UA |
dc.title | Экспериментальная проверка теоретических основ, положенных в основу технологии автоматизированного контроля шероховатости поверхности подложки | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
dspace.entity.type | Publication |