Аналитическое приближение измерительных зависимостей резонаторных зондов для сканирующей микроволновой микроскопии

Abstract

Исследованы характеристики преобразования резонаторных зондов с коаксиальной измерительной апертурой. Вычислительная практика показывает, что процедура их численных оценок требует особого внимания, что порождает особые требования по обеспечению адекватности моделирования. Таким образом, в работе рассмотрены возможности придания аналитических аппроксимаций данным метрологических зависимостей в теории СММ, полученным прямыми численными методами решения электро- динамических задач в строгой постановке.