Мета роботи – фізичний аналіз сучасних наноструктур для подальшого застосування їх в перспективних приладах мікро- та наноелектроніки. Проведено аналіз сучасних наноструктур для перспективних приладів мікро- та наноелектроніки, докладний огляд їх типів, а також атомарної будови. Розглянуто переваги та недоліки відомих методів вирощування наноструктур. Подальший розвиток сучасних наноструктур, як основи для створення інноваційних пристроїв мікро- та наноелектроніки, дозволить вирішити низку глобальних технічних та соціальних викликів, забезпечуючи прогрес у різних сферах науки та техніки Результати досліджень можуть бути використані при розробці конструкцій і технологій майбутніх мікросхем та приладів фізичної електроніки. Прогнозні припущення про розвиток об’єкта дослідження – експериментальне дослідження рекомендованих наноструктур.