Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/981
Title: Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур
Authors: Оксанич, А. П.
Притчин, С. Э.
Седин, Е. А.
Keywords: кремниевые эпитаксиальные структуры
расчет внутренних напряжений
Issue Date: 2011
Publisher: ХНУРЭ
Citation: Оксанич, А. П. Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, Е. А. Седин // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 29–33.
Abstract: Предлагаются методики и устройства контроля структурного совершенства кремниевых эпитаксиальных структур. Показывается, что деформации структур, которые возникают в процессе шлифовки или вследствие значительных температурных градиентов, приводят к появлению внутренних напряжений и областей с высокой плотностью дислокаций. Предполагаемые авторами методы и устройства позволяют контролировать величину деформации КЭС и их зависимость от кристаллографических направлений. Делается вывод о том, что высокие температурные градиенты приводят к потери устойчивости КЭС и образованию у неё «антикластического» изгиба.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/981
Appears in Collections:Автоматизированные системы управления и приборы автоматики

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
ASU_155_2011 (29-33).pdf420.23 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.