Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур

Оксанич, А. П.; Притчин, С. Э.; Седин, Е. А.

Публікація:
Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур

dc.contributor.author	Оксанич, А. П.
dc.contributor.author	Притчин, С. Э.
dc.contributor.author	Седин, Е. А.
dc.date.accessioned	2016-06-16T10:30:29Z
dc.date.available	2016-06-16T10:30:29Z
dc.date.issued	2011
dc.description.abstract	Предлагаются методики и устройства контроля структурного совершенства кремниевых эпитаксиальных структур. Показывается, что деформации структур, которые возникают в процессе шлифовки или вследствие значительных температурных градиентов, приводят к появлению внутренних напряжений и областей с высокой плотностью дислокаций. Предполагаемые авторами методы и устройства позволяют контролировать величину деформации КЭС и их зависимость от кристаллографических направлений. Делается вывод о том, что высокие температурные градиенты приводят к потери устойчивости КЭС и образованию у неё «антикластического» изгиба.	uk_UA
dc.identifier.citation	Оксанич, А. П. Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, Е. А. Седин // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 29–33.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/981
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЭ	uk_UA
dc.subject	кремниевые эпитаксиальные структуры	uk_UA
dc.subject	расчет внутренних напряжений	uk_UA
dc.title	Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication