Экспериментальное исследование дифракционных свойств тонких проводящих пленок в волноводе

Abstract

Широкие возможности изучения структуры, свойств и характеристик тонких пленок появились сравнительно недавно – с появлением микроскопии, обеспечивающей нанометровое разрешение, с использованием современной измерительной аппаратуры. Поглощение электромагнитных волн в тонких пленках объясняется их рассеянием в кристаллитах структуры с преобразованием в акустические волны [1]. При этом под тонкими понимаются пленки, толщина которых много меньше скин-слоя и соизмерима с длиной свободного пробега электронов (пленки толщиной менее 50 нм)