Публікація: Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц
Завантаження...
Дата
2008
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЕ
Анотація
Рассмотрено влияние собственного заряда низкопервеансного неосесимметричного электронного пучка на форму его поперечного сечения и распределение плотности тока. Такие пучки используются, например, в установках электронолитографии. Оценки на основе аналитической модели дополнены численным расчетом с использованием метода трубок тока. Представлены результаты моделирования динамики пучка с прямоугольным сечением в поле одиночной осесимметричной линзы.
Опис
Ключові слова
пространственный заряд, неосесимметричный пучок, динамика
Бібліографічний опис
Галат А. Б. Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц // Радиотехника. Всеукр. межвед. науч.-техн. сб.,2008. –Вып. 153. –С.134–138.