Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц

Галат, А. Б.

Публікація:
Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц

dc.contributor.author	Галат, А. Б.
dc.date.accessioned	2018-07-23T07:42:17Z
dc.date.available	2018-07-23T07:42:17Z
dc.date.issued	2008
dc.description.abstract	Рассмотрено влияние собственного заряда низкопервеансного неосесимметричного электронного пучка на форму его поперечного сечения и распределение плотности тока. Такие пучки используются, например, в установках электронолитографии. Оценки на основе аналитической модели дополнены численным расчетом с использованием метода трубок тока. Представлены результаты моделирования динамики пучка с прямоугольным сечением в поле одиночной осесимметричной линзы.	uk_UA
dc.identifier.citation	Галат А. Б. Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц // Радиотехника. Всеукр. межвед. науч.-техн. сб.,2008. –Вып. 153. –С.134–138.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/6626
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	пространственный заряд	uk_UA
dc.subject	неосесимметричный пучок	uk_UA
dc.subject	динамика	uk_UA
dc.title	Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication