Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/616
Title: Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок
Authors: Хорошайло, Ю. Є.
Світличний, В. А.
Міняйло, О. Д.
Лямін, Є. О.
Keywords: електропровідність
плівка
перетворювач
циліндричний резонатор НВЧ
Issue Date: 2014
Publisher: ХНУРЕ
Citation: Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок : пат. на корисну модель 93969 Україна / Хорошайло Ю. Є., Світличний В. А., Міняйло О. Д., Лямін Є. О. ; ХНУРЕ. – 2014
Abstract: Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок включає одночасне визначення електропровідності і товщини тонких плівок за допомогою електромагнітного випромінювання НВЧ діапазону. Визначення електропровідності і товщини здійснюють для тонких неферомагнітних плівок, причому для виміру електропровідності, необхідно як перетворювач використовувати циліндричний резонатор НВЧ, у якому вимірювальний отвір відповідає лінії тангенціального або нульового тангенціального струму, як реєстровану величину використовують потужність, що пройшла через резонатор.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/616
Appears in Collections:Патенти

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
93969.pdf189.28 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Admin Tools