Publication: Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок
Loading...
Date
2014
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
ХНУРЕ
Abstract
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок включає одночасне визначення електропровідності і товщини тонких плівок за допомогою електромагнітного випромінювання НВЧ діапазону. Визначення електропровідності і товщини здійснюють для тонких неферомагнітних плівок, причому для виміру електропровідності, необхідно як перетворювач використовувати циліндричний резонатор НВЧ, у якому вимірювальний отвір відповідає лінії тангенціального або нульового тангенціального струму, як реєстровану величину використовують потужність, що пройшла через резонатор.
Description
Keywords
електропровідність, плівка, перетворювач, циліндричний резонатор НВЧ
Citation
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок : пат. на корисну модель 93969 Україна / Хорошайло Ю. Є., Світличний В. А., Міняйло О. Д., Лямін Є. О. ; ХНУРЕ. – 2014