Публікація: Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок
Завантаження...
Файли
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЕ
Анотація
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок включає одночасне визначення електропровідності і товщини тонких плівок за допомогою електромагнітного випромінювання НВЧ діапазону. Визначення електропровідності і товщини здійснюють для тонких неферомагнітних плівок, причому для виміру електропровідності, необхідно як перетворювач використовувати циліндричний резонатор НВЧ, у якому вимірювальний отвір відповідає лінії тангенціального або нульового тангенціального струму, як реєстровану величину використовують потужність, що пройшла через резонатор.
Опис
Ключові слова
електропровідність, плівка, перетворювач, циліндричний резонатор НВЧ
Цитування
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок : пат. на корисну модель 93969 Україна / Хорошайло Ю. Є., Світличний В. А., Міняйло О. Д., Лямін Є. О. ; ХНУРЕ. – 2014