Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок

Хорошайло, Ю. Є.; Світличний, В. А.; Міняйло, О. Д.; Лямін, Є. О.

Публікація:
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок

dc.contributor.author	Хорошайло, Ю. Є.
dc.contributor.author	Світличний, В. А.
dc.contributor.author	Міняйло, О. Д.
dc.contributor.author	Лямін, Є. О.
dc.date.accessioned	2016-06-09T07:00:59Z
dc.date.available	2016-06-09T07:00:59Z
dc.date.issued	2014
dc.description.abstract	Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок включає одночасне визначення електропровідності і товщини тонких плівок за допомогою електромагнітного випромінювання НВЧ діапазону. Визначення електропровідності і товщини здійснюють для тонких неферомагнітних плівок, причому для виміру електропровідності, необхідно як перетворювач використовувати циліндричний резонатор НВЧ, у якому вимірювальний отвір відповідає лінії тангенціального або нульового тангенціального струму, як реєстровану величину використовують потужність, що пройшла через резонатор.	uk_UA
dc.identifier.citation	Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок : пат. на корисну модель 93969 Україна / Хорошайло Ю. Є., Світличний В. А., Міняйло О. Д., Лямін Є. О. ; ХНУРЕ. – 2014	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/616
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	електропровідність	uk_UA
dc.subject	плівка	uk_UA
dc.subject	перетворювач	uk_UA
dc.subject	циліндричний резонатор НВЧ	uk_UA
dc.title	Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок	uk_UA
dc.type	Other	uk_UA
dspace.entity.type	Publication