Публікація: Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЕ
Анотація
Викладено принципи створення МЕМС та відомості про технології їх виробництва. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, електромеханічні аналогії та матмоделі для проектування чутливих елементів датчиків.
Опис
Ключові слова
Цитування
Невлюдов І. Ш. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології / І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін, В. В. Семенець. – Харків: Компанія "СМІТ", 2011. – 416 с.