Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/5273
Title: Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології
Authors: Невлюдов, І. Ш.
Палагін, В. А.
Семенець, В. В.
Keywords: нанотехнології
сенсори
фотонні кристали
нанороботи
кремнієві структури
Issue Date: 2011
Publisher: ХНУРЕ
Citation: Невлюдов І. Ш. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології / І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін, В. В. Семенець. – Харків: Компанія "СМІТ", 2011. – 416 с.
Abstract: Викладено принципи створення МЕМС та відомості про технології їх виробництва. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, електромеханічні аналогії та матмоделі для проектування чутливих елементів датчиків.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/5273
ISBN: 978-966-2028-73-7
Appears in Collections:Кафедра штучного інтелекту (ШІ)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Semenets_2011.pdf11.53 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.