Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології

Публікація:
Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології

dc.contributor.author	Невлюдов, І. Ш.
dc.contributor.author	Палагін, В. А.
dc.contributor.author	Семенець, В. В.
dc.date.accessioned	2018-05-17T12:10:08Z
dc.date.available	2018-05-17T12:10:08Z
dc.date.issued	2011
dc.description.abstract	Викладено принципи створення МЕМС та відомості про технології їх виробництва. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, електромеханічні аналогії та матмоделі для проектування чутливих елементів датчиків.	uk_UA
dc.identifier.citation	Невлюдов І. Ш. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології / І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін, В. В. Семенець. – Харків: Компанія "СМІТ", 2011. – 416 с.	uk_UA
dc.identifier.isbn	978-966-2028-73-7
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/5273
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	нанотехнології	uk_UA
dc.subject	сенсори	uk_UA
dc.subject	фотонні кристали	uk_UA
dc.subject	нанороботи	uk_UA
dc.subject	кремнієві структури	uk_UA
dc.title	Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології	uk_UA
dc.type	Book	uk_UA
dspace.entity.type	Publication