Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/4739
Title: Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков
Authors: Гордиенко, Ю. Е.
Полетаев, Д. А.
Проказа, А. М.
Слипченко, Н. И.
Keywords: СВЧ модификация
тепловыделение
конусный коаксиальный СВЧ зонд
Issue Date: 2013
Publisher: ХНУРЭ
Citation: Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, Д. А. Полетаев, А. М. Проказа, Н. И. Слипченко // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2013. – Т. 12, № 3 – С. 452–458.
Abstract: Предложены принципы осуществления высоколокального СВЧ нагрева полупроводниковых материалов с целью их сканирующего перелегирования, оксидирования, отжига и других термических модификаций, которые используются в микро- и нанотехнологиях. Показана возможность создания СВЧ ближнеполевого аппликатора на основе конусного коаксиального зонда. Проведены численные исследования пространственно-временного распределения температуры в области воздействия такого аппликатора в зависимости от электрофизических параметров полупроводникового материала и конструктива зонда.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/4739
Appears in Collections:Прикладная радиоэлектроника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
452-458.pdf2.2 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.