Публікація: Методи, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідників
Завантаження...
Дата
2015
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Анотація
Сформулевано і розв'язано актуальну науково-прикладну проблему створення теоретичніх та прикладніх основ інформаційної підтримки процесу вирощування монокристалів напівпровідників і процесів оптимізації параметрів технологічної оснастки для забезпечення підвищення якості продукції. Запропоновано модель інформаційно- аналітичної системи управління якістю, модель підсистеми підтримки прийняття оперативних рішень для корекції процесу вирощування монокристалів, метод побудови прикладної інформаційної технології діагностики стану складного виробничого процесу, модель підсистеми прийняття оперативних рішень. Для інформаційного забезпечення моніторингу процесу вирощування запропоновано нейромережеву модель розрахунку температурного поля в розплаві нечіткий навчений клітинний автомат. Розроблено інформаційну технологію моніторингу та візуалізації температурного поля в процесі вирощування монокристалів.
Опис
Ключові слова
інформаційні технології, управління якістю, процеси вирощування монокристалів, діагностика ситуацій, підтримка прийняття рішень, інформаційно-аналітична система, information technology, quality control, single-crystals, growth, situations diagnosis, decision-making support, informational analytical system
Бібліографічний опис
Шевченко І. В. Методи, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідників : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.06 "Інформаційні технології" / І. В. Шевченко ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2015. – 39 с.