Методи, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідників

Шевченко, І. В.

Публікація:
Методи, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідників

dc.contributor.author	Шевченко, І. В.
dc.date.accessioned	2016-09-13T07:18:36Z
dc.date.available	2016-09-13T07:18:36Z
dc.date.issued	2015
dc.description.abstract	Сформулевано і розв'язано актуальну науково-прикладну проблему створення теоретичніх та прикладніх основ інформаційної підтримки процесу вирощування монокристалів напівпровідників і процесів оптимізації параметрів технологічної оснастки для забезпечення підвищення якості продукції. Запропоновано модель інформаційно- аналітичної системи управління якістю, модель підсистеми підтримки прийняття оперативних рішень для корекції процесу вирощування монокристалів, метод побудови прикладної інформаційної технології діагностики стану складного виробничого процесу, модель підсистеми прийняття оперативних рішень. Для інформаційного забезпечення моніторингу процесу вирощування запропоновано нейромережеву модель розрахунку температурного поля в розплаві нечіткий навчений клітинний автомат. Розроблено інформаційну технологію моніторингу та візуалізації температурного поля в процесі вирощування монокристалів.	uk_UA
dc.identifier.citation	Шевченко І. В. Методи, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідників : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.06 "Інформаційні технології" / І. В. Шевченко ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2015. – 39 с.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/2431
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.subject	моделі	uk_UA
dc.subject	методи	uk_UA
dc.subject	інформаційні технології	uk_UA
dc.subject	управління якістю	uk_UA
dc.subject	моніторинг	uk_UA
dc.subject	процеси вирощування монокристалів	uk_UA
dc.subject	діагностика ситуацій	uk_UA
dc.subject	підтримка прийняття рішень	uk_UA
dc.subject	інформаційно-аналітична система	uk_UA
dc.subject	models	uk_UA
dc.subject	methods	uk_UA
dc.subject	information technology	uk_UA
dc.subject	quality control	uk_UA
dc.subject	monitoring	uk_UA
dc.subject	single-crystals	uk_UA
dc.subject	growth	uk_UA
dc.subject	situations diagnosis	uk_UA
dc.subject	decision-making support	uk_UA
dc.subject	informational analytical system	uk_UA
dc.title	Методи, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідників	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication