Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1540
Title: Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях
Authors: Гордиенко, Ю. Е.
Ларкин, С. Ю.
Слипченко, Н. И.
Щербак, Е. Л.
Keywords: СВЧ микромодификатор
комбинированное импульсное питание
сканирующая микроволновая микроскопия
Issue Date: 2014
Publisher: Вебер
Citation: Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 773-774.
Abstract: Теоретически исследованы особенности пространственно-временного установления температуры при высоколокальном СВЧ разогреве полупроводникового объекта с помощью ближнеполевого микромодификатора. Предложен метод, который частично снимает проблему удержания заданной температуры и локальности путем применения комбинированного импульсного питания СВЧ микромодификатора. The present paper concerns theoretically investigated features of spatiotemporal establishment of the temperature at the local high microwave heating of semiconductor object using a near-field micromodifier. We propose a method that partially allows withdrawing a problem of the required temperature and locality retention through by means of the combined pulsed microwave power supply of the micromodifier.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1540
Appears in Collections:Международная Крымская конференция " СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" ( КрыМиКо)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
0073_0074.pdf3.85 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.