Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях

Abstract

Теоретически исследованы особенности пространственно-временного установления температуры при высоколокальном СВЧ разогреве полупроводникового объекта с помощью ближнеполевого микромодификатора. Предложен метод, который частично снимает проблему удержания заданной температуры и локальности путем применения комбинированного импульсного питания СВЧ микромодификатора. The present paper concerns theoretically investigated features of spatiotemporal establishment of the temperature at the local high microwave heating of semiconductor object using a near-field micromodifier. We propose a method that partially allows withdrawing a problem of the required temperature and locality retention through by means of the combined pulsed microwave power supply of the micromodifier.