Публікація:
Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2014

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

Вебер

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

Теоретически исследованы особенности пространственно-временного установления температуры при высоколокальном СВЧ разогреве полупроводникового объекта с помощью ближнеполевого микромодификатора. Предложен метод, который частично снимает проблему удержания заданной температуры и локальности путем применения комбинированного импульсного питания СВЧ микромодификатора. The present paper concerns theoretically investigated features of spatiotemporal establishment of the temperature at the local high microwave heating of semiconductor object using a near-field micromodifier. We propose a method that partially allows withdrawing a problem of the required temperature and locality retention through by means of the combined pulsed microwave power supply of the micromodifier.

Опис

Ключові слова

СВЧ микромодификатор, комбинированное импульсное питание, сканирующая микроволновая микроскопия

Бібліографічний опис

Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 773-774.

DOI