Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях

Гордиенко, Ю. Е.; Ларкин, С. Ю.; Слипченко, Н. И.; Щербак, Е. Л.

Публікація:
Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях

dc.contributor.author	Гордиенко, Ю. Е.
dc.contributor.author	Ларкин, С. Ю.
dc.contributor.author	Слипченко, Н. И.
dc.contributor.author	Щербак, Е. Л.
dc.date.accessioned	2016-07-14T08:24:36Z
dc.date.available	2016-07-14T08:24:36Z
dc.date.issued	2014
dc.description.abstract	Теоретически исследованы особенности пространственно-временного установления температуры при высоколокальном СВЧ разогреве полупроводникового объекта с помощью ближнеполевого микромодификатора. Предложен метод, который частично снимает проблему удержания заданной температуры и локальности путем применения комбинированного импульсного питания СВЧ микромодификатора. The present paper concerns theoretically investigated features of spatiotemporal establishment of the temperature at the local high microwave heating of semiconductor object using a near-field micromodifier. We propose a method that partially allows withdrawing a problem of the required temperature and locality retention through by means of the combined pulsed microwave power supply of the micromodifier.	uk_UA
dc.identifier.citation	Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 773-774.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/1540
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Вебер	uk_UA
dc.subject	СВЧ микромодификатор	uk_UA
dc.subject	комбинированное импульсное питание	uk_UA
dc.subject	сканирующая микроволновая микроскопия	uk_UA
dc.title	Оптимизация режима питания СВЧ микромодификатора в микротехнологиях	uk_UA
dc.type	Conference proceedings	uk_UA
dspace.entity.type	Publication