Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/130
Title: Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия
Authors: Оксанич, А. П.
Шевченко, И. В
Краснопольская, Ю. А
Keywords: выращивание монокристаллов полупроводников
мониторинг технологического процесса
Issue Date: 2011
Publisher: ХНУРЭ
Citation: Оксанич, А. П. Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия / А. П. Оксанич, И. В. Шевченко, Ю. А. Краснопольская // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 156. – С. 16–26.
Abstract: Разрабатывается математическая модель – виртуальный датчик температуры фонового нагревателя, используемого для формирования оптимальных тепловых условий в зоне, примыкающей к фронту кристаллизации при выращивании слитков полуизолирующего GaAs по LEC-технологии. Выполняется проверка адекватности модели в ходе экспериментов на различных стадиях процесса выращивания. Модель используется как составная часть информационной технологии мониторинга качества процесса выращивания монокристаллов полу-проводников.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/130
Appears in Collections:Автоматизированные системы управления и приборы автоматики

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
ASU_156_2011 (16-26).pdf452.93 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Admin Tools