Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия

Оксанич, А. П.; Шевченко, И. В.; Краснопольская, Ю. А.

Публікація:
Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия

dc.contributor.author	Оксанич, А. П.
dc.contributor.author	Шевченко, И. В.
dc.contributor.author	Краснопольская, Ю. А.
dc.date.accessioned	2016-05-24T19:22:29Z
dc.date.available	2016-05-24T19:22:29Z
dc.date.issued	2011
dc.description.abstract	Разрабатывается математическая модель – виртуальный датчик температуры фонового нагревателя, используемого для формирования оптимальных тепловых условий в зоне, примыкающей к фронту кристаллизации при выращивании слитков полуизолирующего GaAs по LEC-технологии. Выполняется проверка адекватности модели в ходе экспериментов на различных стадиях процесса выращивания. Модель используется как составная часть информационной технологии мониторинга качества процесса выращивания монокристаллов полу-проводников.	uk_UA
dc.identifier.citation	Оксанич, А. П. Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия / А. П. Оксанич, И. В. Шевченко, Ю. А. Краснопольская // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 156. – С. 16–26.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/130
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЭ	uk_UA
dc.subject	выращивание монокристаллов	uk_UA
dc.subject	мониторинг технологического процесса	uk_UA
dc.title	Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication