Публікація: Мікросистемна техніка та нанотехнології
Завантаження...
Файли
Дата
2016
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
НАУ
Анотація
Викладено принципи створення МЕМС на основі теорії подібностей, розмірностей фізичних величин, електромеханічних аналогій та конвергенції різних фізико-хімічних феноменів. Відомості про технології їх виробництва дозволяють на єдиній кремнієвій підкладці виготовити мікромеханічні вузли та деталі. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, що проявляються в мікронному та нанорозмірному діапазонах і забезпечують поліпшення електрофізичних та експлуатаційних характеристик виробів. Визначено можливості створення нових матеріалів із формуванням їхніх властивостей на атомно-молекулярному рівні, у тому числі інтелектуальних матеріалів; математичні моделі для проектування чутливих елементів датчиків, балок, мембран, зустрічно-штирьових резонансних систем та ін. Наведені відомості про конструктивні та технологічні рішення формування та самоскладання наноструктур, про інструментальні методи вивчення нанооб'єктів, технологічне обладнання, що використовується у виробництві. Для фахівців промисловості, пов'язаних з розробкою, виробництвом та експлуатацією нової техніки. Може бути корисним магістрантам, аспірантам, а також студентам вишів.
Опис
Ключові слова
МЕМС, квантово-механічні ефекти, нанотехнології, мікросистемна техніка
Бібліографічний опис
Невлюдов І. Ш. Мікросистемна техніка та нанотехнології: монографія / І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін. – Київ : НАУ, 2017. – 528 c.