Мікросистемна техніка та нанотехнології

Abstract

Викладено принципи створення МЕМС на основі теорії подібностей, розмірностей фізичних величин, електромеханічних аналогій та конвергенції різних фізико-хімічних феноменів. Відомості про технології їх виробництва дозволяють на єдиній кремнієвій підкладці виготовити мікромеханічні вузли та деталі. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, що проявляються в мікронному та нанорозмірному діапазонах і забезпечують поліпшення електрофізичних та експлуатаційних характеристик виробів. Визначено можливості створення нових матеріалів із формуванням їхніх властивостей на атомно-молекулярному рівні, у тому числі інтелектуальних матеріалів; математичні моделі для проектування чутливих елементів датчиків, балок, мембран, зустрічно-штирьових резонансних систем та ін. Наведені відомості про конструктивні та технологічні рішення формування та самоскладання наноструктур, про інструментальні методи вивчення нанооб'єктів, технологічне обладнання, що використовується у виробництві. Для фахівців промисловості, пов'язаних з розробкою, виробництвом та експлуатацією нової техніки. Може бути корисним магістрантам, аспірантам, а також студентам вишів.