Публікація: Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур
Завантаження...
Дата
2013
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
Исследуются особенности применения микроволнового излучения как средства высоколокального нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи ближнеполевых СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предлагается вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно-временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. Показывается, что при определенном соотношении параметров пленки и подложки возможно также осуществить геттерирование дефектов из подложки.
Опис
Ключові слова
высоколокальный СВЧ нагрев, модификация, СВЧ микроскопия
Бібліографічний опис
Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко, М. И. Пятайкина, С. Ю. Ларкин и др. // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2013. – № 4. – С. 8-13.