Публікація: Автоматизация средств контроля технологического процесса изготовления интегральных схем
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЕ
Анотація
The automation of the means of control of the technological process of manufacturing of integrated circuits allows to measurement of the parameters of integrated circuits (thickness of thin films, their structural homogeneity) with high precision and also considerably reduces influence of a human factor on technological process.
Опис
Ключові слова
Автоматизация средств контроля, Интегральные схемы
Цитування
Патров Д. О. Автоматизация средств контроля технологического процесса изготовления интегральных схем / Д. О. Патров, В. П. Карнаушенко // Радіоелектроніка та молодь у ХХІІ столітті : зб. тез. доп. ХХI Харків. конф. молодих науковців, 17–19 квіт. 2018 р. – Харків, 2018. – С. 27.