Публікація: О возможности достижения пикометровой разрешающей способности при частотных измерения нано размеров
Немає доступних мініатюр
Дата
2010
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Анотація
В лучших системах с применением лазерных интерферометров перемещений (ЛИП), которые созданы для метрологического обеспечения измерений длин в нанометровом диапазоне, обеспечиваются измерения малых длин в диапазоне (10-9310-6)м с разрешающей способностью порядка 0,030,02 нм. В то же время, повышение требований к точности измерений длины, а также интенсивное развитие средств измерений в области нанометрологии требует создания нового поколения эталонов и образцовых средств измерений, расширяющего диапазон измерений в область малых длин до 10-10м. Не рассматривая влияния внешних воздействий (механических вибраций, температуры окружающей среды, и др.), представляется, что одними из основных причин, которые не позволяют расширить диапазон измерений до 10-10м (при повышении разрешающей способности), являются ограничения, вносимые внутренними элементами системы интерферометра.
Опис
Ключові слова
единицы длины, наноразмерные измерения, частотные измерения
Бібліографічний опис
О возможности достижения пикометровой разрешающей способности при частотных измерения нано размеров / Ю. П. Мачехин, А. Г. Данелян, Д. И. Гарибашвили, Р. Р. Канкия, С. А. Мкртычан // Измерительная техника - 2010 - №3 - С.18-23.